精密型基础测试探针台 顺利交付南京工业大学

交付信息

交付日期：2023年10月20日
客户单位：南京工业大学
交付产品：TLRH系列精密型基础测试探针台

现场实拍

核心指标

• • 真空卡盘直径：4英寸

• • 样品台位移精度：<3μm

• • 探针座位移精度：<3μm

• • 漏电流精度：<100fA

• • 兼容多种光学显微镜

该探针台系统可外引光路实现光电Mapping测试，是半导体材料或器件电学测试的理想选择。

产品介绍

谱量光电：TLRH系列 精密型组合式探针台

产品样图

产品特点

• • 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；

• • 最大可用于12寸以内样品测试；

• • 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；

• • 兼容多种光学显微镜，可外引光路实现光电Mapping测试；

• • 满足1µm以上电极/PAD使用;

• • 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;

• • 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计;

• • 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；

• • 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。

应用领域

多被用于科研院校搭建测试系统，例如：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等。

公司可根据客户实际需求定制配套的探针台，以达到更好的测试效果和性价比，具体可各平台咨询客服。