使用高低温真空探针台的实验附件及常规测试步骤

半导体材料光电检测，功率器件测试，MEMS测试，PCB测试，液晶面板测试，测量表面电阻率测试，精密仪器生产检测，航空航天实验室。

高低温真空探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

探针台结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；谱量光电可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台（台面＞600mm*600mm），一台计算机（标准VGA接口和USB3.0接口）吉时利2400数字源表（含软件）等测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。